多晶硅粉體輸送系統主要輸送形式有3種，即稀相正壓輸送、稀相負壓輸送、密相倉泵輸送。

1、稀相正壓輸送系統采用羅茨鼓風機作為氣源，旋轉供料器或噴射器作為供料裝置，物料經供料裝置進入輸送管道與高速氣流混合后輸送到末端收料倉，通過料器分離裝置過濾后氣體排入大氣，本系統適合輸送距離較短、多個收料倉的工程。

2、稀相負壓輸送一般采用羅茨真空泵作為氣源，旋轉供料器作為供料裝置，物料同大氣一起從入口處進入輸送管道，通過料氣分離裝置過濾后的氣體進入羅茨真空泵排入大氣，本系統適合輸送距離較短、多個進料點的工程。

3、倉泵氣力輸送設廠家密相輸送一般采用空氣壓縮機作為氣源，倉泵、高壓旋轉閥、螺旋泵等作為供料裝置，物料由料倉落入供料裝置內，向輸送管道內輸入高壓氣體，讓氣體和物料充分混合，使物料流態化，然后再通過壓力氣流輸送到末端收料倉，氣體經分離裝置過濾后排入大氣，適合長距離、大輸送量的輸送工況。